- 图形电镀
- 1.图形化能力，电镀能力，精度控制高，可选择路线多，适用于不同精度要求下的路线选择。
- 2.快速打样和定制化的需求能力，大批量量产稳定交付品质保障，专业的工艺团队支持定制化需求，工业激光热沉累计出货500万+，消费类激光200万+，经历车企供应体系量产审核。
- 3.评价能力齐全，支持AOI外观检验，线光谱/XRF厚度测试，图形化有机物残留可靠性测试能力 。
| 工序段 | 项目 | 体系 | 基材 | 尺寸和厚度 | 精度 | 外观测试 | 测试能力 | 打样周期 |
| 图形电镀 | 图形化 | 干膜 |
氮化铝，碳化硅，氮化硅，氧化铝 研磨片和抛光片 |
1.图形厚度，可支持300um图形厚度需求 2.基板尺寸，最大138*190mm |
/ | 支持AOI检验 | 1.图形尺寸，二次元影像测量仪，分辨率0.1um，测试精度±2um | 4个工作日 |
| 激光直写曝光机 | / |
1.最大12"*12"，方片和圆片兼容 2.基板厚度，0.05-3.5mm |
线宽线距，8/8um 对位精度，±3um 资料分辨率，500nm 拼接误差，±1um |
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| 光刻胶 | / | 基板厚度，＞0.1mm |
匀胶均匀性≤±3% 线宽线距，8/8um |
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| 干法蚀刻 |
1.钛/铂/金 2.铜 |
可根据产品需求定制 | 支持AOI检验 | |||||
| 电镀 | 电镀铜 | 铜面 |
1.最大6"*6"，方片 2.厚度可定制，可实现单面厚度控制（5-800um） |
厚度均匀性，±5%（300um厚度） | / | 高温烘烤，350℃1h，无鼓包 | ||
| 电镀镍，金 | 铜面 |
1.最大6"*6"，方片 2.厚度可定制，可实现单面厚度控制（镍厚，＞0.1um，金厚，＞0.1um） |
金厚度均匀性，±10%（1um厚度） | 支持AOI检验 |
1.高温烘烤，350℃1h，无鼓包 2.打线测试，根据客户打线后拉力值确定 |
